电子特气市场规模持续增长,未来发展空间广阔 中国电子特气行业发展现状分析2023

电子特气的第一核心技术指标是高纯。电子特气作为电子加工行业核心原材料, 其第一核心要素为超高洁净度和超低杂质含量,因而它对原料、纯化方法、配方工 艺、容器、生产设备、环境控制、测试和运输设备等都有极为严格的要求,控制电 子特气中各种杂质的浓度成为考量电子特气性能一项非常重要的指标。根据飞潮新 材公布的数据,大规模集成电路对气体纯度的要求高达 6N 及以上,同时,气体的 杂质含量也要低于 1×10-7,技术壁垒极高。

电子特气的第二核心技术指标是配方。为了满足晶圆加工不同步骤的需求,许 多时候需要多种电子特气混配来进行加工,因此复配工艺成为了电子特气的又一核 心要素。混合电子特气一般是建立在单一特气超净高纯的基础上,通过各类不同的 复配工艺来达到如蚀刻、掺杂等不同的效果,因此不同的原料和配方是混合气体的 核心要素,其更高的技术壁垒也赋予其更高的单位价值和毛利率。

根据中研普华产业研究院发布的《2023-2028年中国电子特气行业发展趋势及投资预测报告》显示:

电子特气是特种气体的一类,被誉为电子工业的“粮食”。特种气体是指运用在特 定领域中,对产品种类、纯度、配方、性质等有特殊要求的气体(纯度一般大于 5N), 根据纯度和应用领域的不同,特种气体又可以分为电子特气、医疗气体、标准气体等。 电子特气作为电子气体的重要分支,广泛应用于半导体、平板显示及其它电子产品的 生产过程,是电子工业生产中不可或缺的关键性原材料,被誉为电子工业的“粮食”。

电子特气品类丰富,是微电子行业核心原材料。电子特气细分种类多样,用途 广泛,不同种类和纯度的电子特气适用于电子工业生产不同环节。按照功能划分, 电子特气可以划分为稀释气体、CVD气体、蚀刻气体、掺杂气体、外延气体、离子 注入气体等。按照下游需求划分,电子特气可以划分为平板显示用气体、半导体用 气体、光伏用气体和 LED用气体,终端产品涉及家电、电脑、芯片、太阳能等不同 领域。

政策多方位扶植集成电路,行业国产化进程加速。为了提升我国集成电路的自 主研发能力,降低对外依赖性,我国自 2014 年开始陆续发布了一系列政策来扶植 我国集成电路行业。如 2014 年国务院发布的《国家集成电路产业发展推进纲要》 明确提出,到 2020 年,要基本建成技术先进、安全可靠的集成电路产业体系,实 现跨越式发展;2021 年财政部、税务总局和海关总署联合发布《关于支持集成电 路产业和软件产业发展进口税收政策的通知》,提出对相关企业实行税收优惠政策。 我国正从全方位、多角度发布政策共同推动集成电路行业的进步,将有效拉动国产 电子特气的需求。

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