芯片制造离不开光刻机,数据显示,全球晶圆制造材料中的第一大耗材是硅片,第二大就是电子特气。
以光刻为例,需要的电子特气就包括氖气、氩气、氪气、氙气等几种稀有气体。这是因为光刻气体是光刻机产生激光的光源,难以取代。其中氖气主要用于深紫外光刻领域,服务1x nm到180nm芯片的加工。
因为乌克兰占全球氖气供应比例高达70%,所以去年一度,氖气的价格飙升了20倍。
不过来自TheElec的报道称,氖气的价格已经明显下跌,这主要是因为中国、韩国等供应商的加入。
此外,因为三星、SK海力士等晶圆工厂开机率低迷,对氖气的需求也相应变低。
据悉,氖气是钢铁行业的副产品,科创板上市华特气体的光刻气产品于2017年通过阿斯麦的产品认证,国内另一家企业凯美特气也在推进阿斯麦的认证。