随着物联网时代到来，传感器的应用已渗透至工业自动化、航天技术、军事工程、资源开发、环境监测、医疗诊断、交通运输等各个领域。在物联网时代，符合需求的传感器必须具备低功耗、微型化、智能化、多功能复合等特性。
近年来，基于MEMS技术，通过把微米级的敏感组件、信号处理器、数据处理装置封装在一块芯片上，可通过硅基于微纳加工工艺进行批量制造，具有微型化、低成本、低功耗、集成化的特征，广泛用于汽车、消费电子、工业、医疗、航空航天、通信等领域。
一、MEMS传感器定义
MEMS传感器即微机电系统，是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。
微机电系统是将微电子技术与精密机械技术结合发展出来的工程技术，尺寸在1微米到100微米量级，涵盖机械(移动、旋转)、光学、电子(开关、计算)、热学、生物等功能结构，主要分为传感器、致动器、三维结构器件等三大类。
与MEMS类似，NEMS(纳机电系统)是专注纳米尺度领域的微纳系统技术，只不过尺寸更小。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。
二、MEMS传感器行业调研
MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。
目前，中国MEMS产业尚处于起步阶段。目前，具有一定知名度和出货量的本土MEMS企业仍然屈指可数，逐鹿中国市场的主要竞争者仍以跨国企业为主。如今，我国MEMS传感器产品在精度和敏感度等性能指标上与国外存在巨大差距，应用范围也多局限于传统领域。中高档传感器产品绝大部分从国外进口，90%的芯片依赖国外。无论在全球还是我国，MEMS传感器的主要应用市场都是在汽车以及消费电子市场，其次在于医疗和工业。