MEMS工艺本质上是一种微制造技术，基于MEMS技术制造的芯片有着低功耗、小型化和智能化的特征，是MEMS传感器和执行器的核心。MEMS芯片作为连接真实世界和数字世界最前端的芯片，有着“比模拟芯片更模拟的芯片”之称。
MEMS传感器即微机电系统，是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。
MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。
机器人正成为MEMS传感器主要应用市场
MEMS传感器无处不在，MEMS器件现在已经占据全球传感器总出货量的54%。智能机器人将具备计算机视觉、自然语言处理、动作规划和控制功能，并且拥有语音交互、行走和执行复杂任务等与物理世界互动能力，而实现一切感知的基础和核心就是传感器。
MEMS技术对机器人的开发尤其有利，其可以通过对多种运动及环境因素感知，使它们变得更加智慧，使用时更加安全。以工业机器人为例，一方面智能机器人在工业领域的应用越来越广泛;另一方面，MEMS技术支撑机器人的外部感知，为数据采集提供高可靠性、可扩展性、灵敏度和成本效益高的解决方案。
随着机器人的智能化程度不断提高，其中加载的MEMS传感器将变得越来越多。据专家估算，由于机器人的智能化程度不同，传感等感知部分约占机器人总成本的10%到20%。机器人领域有望继消费电子、汽车之后，成为MEMS传感器的新兴的主要应用市场。
根据中研普华产业研究院发布的《2023-2028年中国MEMS传感器行业发展前景战略及投资风险预测分析报告》显示：
MEMS传感器产品种类多样，各种产品的功能和应用领域也不尽相同，使得各种MEMS传感器的生产工艺和封装工艺均需要根据产品设计进行调试，晶圆和成品的测试过程也采取非标准工艺，因此MEMS传感器产品不存在通用化的技术工艺，需要从基础研发开始对产品设计、生产工艺、设备开发和材料选取等各生产要素经历长时间的研发和投入，并在大量出货的过程中不断对上述生产要素进行完善和优化。