作者：二马路的冰
排版：LEAHMA
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电子特种气体(以下简称电子特气)是指用于半导体及相关电子产品生产的特种气体，几乎渗透到芯片生产的每个环节，包括光刻、刻蚀、薄膜、掺杂等工艺，是电子行业的重要原材料被喻为“芯片产业的血液”，?是仅次于硅片的第二大芯片材料领域，在芯片材料中占比约为11.4%。
芯片工业大约需要110多种电子特气，其中常用的有超过50种。
芯片工业常用的电子特气?? ?图源：百度
常见光刻气体包含 Ar/F/Ne 混合气，、Kr/Ne 混合气、Ar/Ne 混合气、Kr/F/Ne 混合气，Ar/Xe/Ne 混合气，等等。混合气体在高压受激发后，就会形成等离子体，由于电子跃迁，会产生193 nm或者248nm激光光源。其中氖气在193 nm ArF 激光器和?248 nm KrF 激光器中作为缓冲气体，用于与稀有气体（Ar/Kr）、氟气混合，防止电极短路，是DUV光刻的重要电子特气耗材。
氖气在空气中占比只有0.00182%。DUV光刻对氖气纯度有着苛刻的要求，要求达到6.0级（纯度99.9999%）。在光刻过程中，极微量的杂质也可能导致产品重大缺陷，特种气体纯度越高，光刻良率越高，光刻质量越好。应用于DUV光刻的氖气的生产、分离提纯以及运输供应都存在较高的技术壁垒，其毛利率超过?50%。全球芯片业每年消耗的氖气量约为54万吨，折合55万立方米。
电子特气?? ?图源：百度
2014年克里米亚危机前，乌克兰是全球氖气主要生产国，生产地是马里乌波尔Ingas和位于敖德萨的Cryoin和Iceblick。具体流程是俄罗斯钢铁厂提供其副产品?粗制氖气，然后上述三个乌克兰公司进行提纯成高纯氖气。
其中，Ingas公司1994年成立，每月生产1.5-2万立方米5.0级（纯度99.9990%）和6.0级（纯度99.9999%）氖气，Cryoin每月生产1-1.5万立方米5.0级、5.5级和6.0级氖气，为德国、台湾、韩国、中国和美国的客户提供服务，占比达75%以上。
马里乌波尔氖气工厂Ingas? ? ?图源：气体圈子
俄乌战争爆发造成全球氖气短缺
2022年2月24日，俄乌战争爆发。Ingas、Cryoin和Iceblick三家公司被迫停产。Cryoin业务发展总监Larissa Bondarenko宣称，Cryoin公司无法完成1.3万立方米的客户订单，也不能获得合适的原材料来生产氖气（俄罗斯钢铁厂不再提供粗制氖气）。