荷兰正式出手!限制DUV光刻机出口

芯东西3月9日消息,当地时间3月8日,荷兰宣布正式加入美国在半导体行业对中国的限制行列。荷兰贸易部长Liesje Schreinemacher致议会函中透露,荷兰计划对半导体技术出口实施新的限制,这些限制将在夏季之前实施。

荷兰贸易部长Liesje Schreinemacher致议会函

在致函中,Schreinemacher没有说明哪些半导体相关设备会受到影响,但她强调,这些公司必须申请出口这项技术的许可证,“限制措施只会包括可以制造最小、最强大芯片的非常高规格的系统,包括ASML制造的一些深紫外(DUV)光刻机。”

ASML回应荷兰半导体出口管制新规:并不适用于所有浸入式光刻设备称,他们还没有收到“非常高规格的系统”的明确定义,此举不会对该公司2023年或者长期的财务表现产生重大影响。不过,受新规影响,ASML需要申请出口许可证才能装运其DUV光刻机。

ASML官方回应

DUV光刻机被用于生产28nm及更成熟制程的芯片,理论上最高能制备7nm,主要供应商有荷兰ASML、日本尼康、日本佳能等。从ASML界定的范畴来看,荷兰出口限制新规可能主要涉及能生产先进制程芯片的高端DUV光刻机型号的采购,暂不影响2000i之前的型号。

ASML DUV光刻机型号一览(图源:ASML)

去年10月,美国政府对中国实施了芯片制造工具出口限制,但要使这些限制生效,需要拥有相关关键技术的荷兰、日本供应商同意,因此今年1月初开始,美国政府就一直在游说荷兰与日本达成限制向中国出口先进芯片制造工具的协议。

这也是荷兰首次公开这一协议的部分细节,据传日本最快也将于本周更新其芯片出口政策。

在本周荷兰和日本经美国强烈游说的新出口管制的更多细节公布之前,ASML的CEO Peter Wennink将在该公司位于荷兰维荷芬(Veldhoven)的总部发表讲话。

一、扩大现有出口管制,将出台国家管制清单

在致函中,Schreinemacher称,荷兰在全球半导体产业链中发挥着重要作用,鉴于技术发展和地缘政治影响,政府有必要扩大对特定半导体制造设备的现有出口管制。

Schreinemacher称,荷兰政府已决定采取“尽可能谨慎和准确的措施……以避免对产业链造成不必要的破坏,对于重要的公司来说,了解他们所面临的问题,并有时间适应新规则”。

(责任编辑:AK007)